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整机平台

露光装置用XY平台(第6代)

露光装置用XY平台(第6代)

产品品牌: 

规格
 行程 :1,320×3,320mm
 尺寸    :5,000×2,400mm
 重复定位精度
        :±0.063μm
 定位时间 :400msec
 最高速度 :950mm/sec

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